隨著半導體製程技術不斷推進、AI高頻高速傳輸推動PCB/載板朝高層數、細線路發展,先進製程帶旺扮演辨識高階精密產品好壞「眼睛」的AOI(自動光學檢測)設備需求。台灣由田新技股份有限公司已成立逾三十年,以高階載板外觀檢測起家、插旗平面顯示器高階檢測,並於2018年起轉進半導體封裝領域,經過近6年的布局,由田擁有先行者及獨家技術優勢,搭上先進封裝擴產列車,率先達成國產設備百萬片晶圓檢測里程碑,
在半導體製程環節中,黃光段為負責晶圓線路生成的關鍵製程,執行曝光、顯影、蝕刻…等掌控線路生成品質的命脈。之所以稱為”黃光”,是因為生產空間裡不能有影響線路生成的短波長光源存在,因此環境偏黃色系故稱為黃光段。
由於事關線路精度,黃光段製程對”精度”、”準度”、”穩定度”的要求,屬於半導體各段製程之冠! 而負責此段生產品質檢測的AOI設備更必須是深受信賴的設備。此前先進封裝線黃光製程的AOI設備是國外大廠專屬的激烈賽道,國際龍頭KLA、Onto...等即是主要參賽者,也因為技術要求高、設備金額大、全球能參與競賽的廠商寥寥可數,台灣廠商更是完全缺席未有所聞。
由田在經由多年的耕耘與累積的專業能力下,成功開發獨家光學模組,秉持特殊專利光學技術有效解決黃光段打光限制問題,即使有光阻劑殘留都可以檢測出缺陷,且其他廠商設備會挑光阻劑,由田則已配合客戶共同測試驗證多種光阻劑,這也是由田領先台灣其他AOI光學檢測廠的優勢所在。目前由田設備已廣泛用於先進封裝測試,例如InFO、CoWoS…等製程,從來料、RDL重佈線、Interposer、Bumping、Die Saw、Final檢…等皆完成插旗,未來預計將持續擴散至其他站點。
日前由田新技公布在黃光段AOI,不僅技術測試通過,更已經達成百萬片晶圓檢測實績,標示國產光學視覺競爭力可期,前景光明,也標示國內SEMI供應鏈的國際競爭力又增添耀眼新力量!